Optisk mikroelektronik rengöring teknik definieras som att eliminera mikropartiklar av damm, skadlig luft, bakterier och andra föroreningar i luften inom ett visst utrymme, och inomhustemperatur, luftfuktighet, renhet, tryck inomhus, luftflödeshastighet och luftflödesfördelning, bullervibrationer och belysning, statisk elektricitet inom ett visst krav, och ger ett särskilt utformat stängt utrymme.
Optisk mikroelektronik rengöring teknik också känd som dammfri rum eller rengöringsrum, är för närvarande en viktig anläggning för halvledare, precisionstillverkning, flytande kristall tillverkning, optisk tillverkning, kretskort tillverkning och biokemi, läkemedel, livsmedelstillverkning och andra industrier. Under de senaste åren, på grund av den innovativa utvecklingen av teknik, är efterfrågan på hög precision och miniaturisering av produkter mer brådskande, såsom forskning och tillverkning av superstora integrerade kretsar, har blivit ett projekt i hela världen med stor vikt för vetenskaplig och teknisk utveckling, och vårt företags designkoncept och konstruktionsteknik har en ledande position i branschen.
Optisk mikroelektronik rengöring teknik omfattar i allmänhet:
1 Ren produktionsområde
Rengöring av hjälprum (inklusive personal rengöring rum, material rengöring rum och vissa vardagsrum, etc.)
Administrationsområden (inklusive kontor, tjänst, förvaltning och vila osv.)
Utrustningsområden (inklusive luftkonditioneringssystem, elektriska rum, högrent vatten och högrent gas, kall och varm utrustning)
Rengöringsprincipen för optisk mikroelektronik
Luftflöde → Initial Effect Rengöring → Luftkonditionering → Medium Effect Rengöring → Ventilfläkt → Rören → Effektiv Rengöring av luftöppningen → Blås in i rummet → Ta bort dammbakterier
Andra partiklar → återvinningspersienner → första effekten rensning Upprepa ovanstående process för att uppnå rensningssyftet.
Optisk mikroelektronik rengöring teknik rengöring parametrar
Luftbyte: 100 000 grader ≥ 15 gånger; 10 000 grader ≥20 gånger; 1000 ≥ 30 gånger. Tryckskillnad: huvudverkstad mot angränsande rum ≥5Pa
Genomsnittlig vindhastighet: 10 grader, 100 grader 0,3-0,5 m / s; Temperatur vinter > 16 ° C; sommartemperaturen är 26°C. Fluktuationer ± 2 ° C.
temperatur 45-65%; GMP pulver verkstad fuktighet på cirka 50% är lämpligt; Luftfuktigheten i den elektroniska verkstaden är något högre för att undvika statisk el.
Buller ≤65dB (A) Komplettering av ny vind är 10-30% av den totala luftmängden. Ljusstyrka 300LX.