Luftreningsfilter är de grundläggande komponenterna som används för gasfiltrering för att göra gasen ren. Denna komponent kan placeras i framsidan av den roterande vakuumpumpens luftingång, så att den gas som kommer in i vakuumpumpen filtreras, avlägsnar de flesta av gaserna som innehåller partiklar som damm och vattenånga, för att förhindra att vakuumpumpen på grund av inandning av orena gaser hindrar normal funktion och förläng vakuumpumpens livslängd.

Luftingången kopplas till vakuumbehållaren, gasen går in i tunnen och filtreras genom filtret i tunnen; Den rena gasen leder till tre kanaler, luftutgången ansluter vakuumpumpen och utgör sugenheten. Vakuummetraren på tre vägar kan mäta dess vakuumnivå. Drejning av avloppsskruven kan eliminera föroreningar.